欧姆龙光电传感器EE-SPY801/802系列

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欧姆龙光电传感器EE-SPY801/802系列

欧姆龙光电传感器EE-SPY801/802系列产品介绍：
EE-SPY801/802 晶圆片托架落座传感器
■薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。

欧姆龙光电传感器EE-SPY801/802系列额定值/规格

项目     型号		EE- SPY801/802
检测距离  (标准检测物体)		0～5mm （反射率90% 白色纸15×15mm2 ）  0～3mm （反射率10% 黑色纸15×15mm2 ）
检测物体		晶圆片拖架（透明体·不透明体）
动作显示灯		物体检测时灯亮（橙色）
光源(发光波长)		GaAs红外发光二极管(940nm)
电源电压		DC12～24V±10% 脉动(p-p)5%以下
消耗电流		30mA以下
控制输出		NPN型：集电极开路输出、DC5～24V、100mA以下   残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时)   残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时)
应答时间		5ms以下
使用环境照度		受光面照度 白炽灯、太阳光：3,000lx以下
环境温度		动作时：－10～＋55℃、 保存时：－25～＋65℃ （不结冰）
环境湿度		动作时：5～85％RH、 保存时：5～95％RH （不结露）
振动（耐久）		1～500Hz 复振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次
冲击（耐久）		500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次
保护结构		IEC规格 IP30
连接方式		导线引出型(标准导线长2m)
质量（捆包状态）		本体(传感器)：约43g、附件(导槽 )：约9g
材料	外壳	四氟乙烯共聚合物（ETFE）
	底板	聚对苯二甲酸丁二醇酯
附件		使用说明书

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